涂层技术
HT OPTICS的专利母公司HTNM是一家尖端科技公司，为客户提供采用蓝宝石、AlN等新材料的先进产品，应用于光学、功能薄膜、射频（RF）滤波器、光纤元件、生物传感器和压电传感器。
HTNM是一家拥有自主研发的薄膜沉积ARS（原子反应溅射）技术的高精度光学薄膜产品供应商。 HTNM 于 2015 年获得了这项创新技术的专利。这项技术使 HTNM 能够制造多种高性能薄膜产品，包括增透膜、带通滤光片、DLC 等。
技术优势:
1) 薄膜专利技术ARS（原子反应溅射）（中国专利#201310082514.1）
2) 专有的光学监控设计，可稳定、实时地原位监控晶圆的光学特性和厚度
3) 专有的晶圆载体设计，每次镀膜可沉积 ≥9 片晶圆
4) 拥有最多的PVD技术：热蒸发、电子束、IAD、溅射
5) 具有多种镀膜室尺寸和快速周转：800mm至1300mm
6) 专有的大阴极设计，可实现稳定的高速率溅射
7) 专有的大阴极设计，适用于高温工艺：>800°C
8) 专有的真空室设计，适用于需要基板温度 > 800°C 的工艺
9) 专有的设计和设置可最大限度地减少沉积过程中晶圆上的污染
10) 专有的腔室设计，将沉积区和反应区分开，确保稳定的流量和泵速
综合服务优势:
1) 我们提供种类繁多的薄膜产品:
l AR（抗反射）
l HR(高反射)
l BS（分光镜）
l EF（边缘过滤器）
l BP（带通滤波器）
l 金属涂层
l AS/AF（防指纹）
2）薄膜产品涵盖UV至NIR（190nm至3um）
3) 采用ARS工艺的极硬涂层、高LIDT涂层
4) 我们是窄带通滤光片专家：光学滤光片、高腔滤光片、3D相机滤光片、荧光滤光片
5) 定制设计的涂层和快速原型制作
6）现代计量设备：ZYGO、KLA、Cary…
用于玻璃、蓝宝石和陶瓷的尖端研磨/抛光线
薄膜涂层能力:
电子束/热源蒸发:
电子束/热源蒸发 | ||
规格 |
典型公差 |
最佳耐受性 |
随机物理厚度误差 | <2.0% | <1.0% |
随机光学厚度误差 | <1.0% | <0.5% |
逐次运行居中 | ± 1.5% | ± 0.5% |
行星均匀性 | <1.0% | <0.25% |
湿/干转变（范围） | 0.5-1.5% | 0.5-1.5% |
(人力资源部，1064nm、10ns、10Hz) 激光损伤阈值 （HR、1064nm、10ns、10Hz） | >15焦耳/厘米2 | >30焦耳/厘米2 |
吸收 | <0.1% | <0.1% |
分散 | <0.1% | <0.1% |
表面粗糙度 | 20 Å rms（典型值） | 10 Å rms（典型值） |
离子辅助沉积 (IAD)
离子辅助沉积 (IAD) | ||
规格 |
典型公差 |
最佳耐受性 |
随机物理厚度误差 | <2.0% | <1.0% |
随机光学厚度误差 | <1.0% | <0.5% |
逐次运行居中 | ± 1.5% | ± 0.5% |
行星均匀性 | <1% | <0.25% |
湿/干转变（范围） | 0.5-1% | 0.5-1% |
(人力资源部，1064nm、10ns、10Hz) 激光损伤阈值 （HR、1064nm、10ns、10Hz） | >10焦耳/厘米2 | >15焦耳/厘米2 |
吸收 | <0.1% | <0.1% |
分散 | <0.1% | <0.1% |
表面粗糙度 | 20 Å rms（典型值） | 10 Å rms（典型值） |
原子反应溅射 (ARS)
原子反应 溅射（增强现实） | ||
规格 |
典型公差 |
最佳耐受性 |
随机厚度误差 | <0.7% | <0.25% |
逐次运行居中 | ± 0.5% | ± 0.25% |
行星均匀性 | <1% | <0.25% |
湿/干转变（范围） | 0% | 0% |
(人力资源部，1064nm、10ns、10Hz) 激光损伤阈值 （HR、1064nm、10ns、10Hz） | >1 焦耳/厘米2 | >1 焦耳/厘米2 |
吸收 | ~ 100 ppm (0.01%) | ~50 ppm |
分散 | ~ 100 ppm (0.01%) | ~50 ppm |
表面粗糙度 | 10 Å rms（典型值） | 5 Å rms（典型值） |
涂层测试能力:
卡里 分光光度计 | ||
测试 |
典型范围 |
宽容 |
透射扫描，正入射 | 0.190-3.0 mm | ± 0.05%@吸光度=0.5 |
反射扫描，法向入射 | 0.190-3.0 mm 商业反射率工具
HT’s 反射率工具
AR反射扫描 |
± 1.0%
±0.50%
±0.05% |
透射扫描，斜入射 | 0.190-3.0 mm 0-90 度可变角度夹具 P、S、UNP 极化 | ± 0.05%@吸光度=0.5 |
反射扫描，斜入射 | 0.190-3.0 m米， 45°夹具 商业反射率工具
HT’s 反射率工具
AR反射扫描 P、S、UNP 极化 |
± 1.0%
±0.25%
±0.05% |
恒温恒湿箱 | |
测试 |
典型范围 |
米尔。规格温度。测试 |
-70 至+150 °C（-94 至 302 °F） |
军用规格湿度 T东部时间 |
10%-95%RH |
涂层硬度测试仪 | |
测试 | 典型范围 |
军用规格。涂层硬度测试
| 附着力（胶带） 轻度磨损（粗棉布） 严重磨损（橡皮擦） |
激光测试 | |
测试 |
典型范围/公差 |
633 nm 氦氖激光器 |
输出功率=100 mW-5毫瓦 |
可调谐激光器 |
l=1510-1590纳米 |
激光损伤阈值 (LDT) |
l=193纳米至10.6 mm （独立实验室测试） |
干涉仪 | |
测试 |
典型精度（极限） |
Zygo 高分辨率 GPI-XP (l = 633 纳米） l 4” 至 6 mm 异径管 l/20 波参考。平坦的 l F/0.75、F/1.5、F/3.4、F/7.6 和 F/10.6 传输球体（直径 4”） |
表面平整度:
直径 10-152 毫米: l/40（下限） |
